镧溅射靶
La溅射靶
纯度:99.9%
形状:圆盘,长方形
目前,我们的标准圆靶尺寸范围从直径1"到20",矩形靶的长度可达2000mm,根据金属的不同,可以单件或多件制造。
储存和运输条件:需要保护为煤油(航空航天级煤油)。储存于干燥处,避免潮湿,避免高温
使用煤油(航空航天级)保护目标的建议。
1.准备500ml丙酮液,打开靶品包装,用镊子将靶品从聚乙烯袋中取出,放入丙酮液中10秒,重复浸泡3次。
2.然后进行快速干燥,将靶材放入磁控溅射系统中。
3.做预溅射去除表面的氧化物。建议溅射前的时间为20分钟。
4.Maideli建议:在溅射处理完成之前,不要将目标带出溅射室。最好将目标放入真空保护,以防氧化。(如真空保护不能保护,应放回煤油中。)