| 材料 | 成分 | 纯度 | 溅射靶材 | |
| 旋转 | 平面 | |||
| CrAl | Cr-70Al,Cr-50Al,Cr-30Al (at%) | 99.95% 最大 | √ | |
| TiAl | Ti-70Al,Ti-67Al,Ti-50Al,Ti-30Al (at%) | 99.95% 最大 | √ | |
| SiAl | Si-10Al,Si-30Al ( or customized ) | 99.95% 最大 | √ | √ |
| SiZr | Si-30Zr | 99.9% 最大 | √ | |
| NiCr | Ni-20Cr,Ni-50Cr,Ni-70Cr (wt%) | 99.95% 最大 | √ | √ |
| NiV | Ni-7V(wt%) | 99.95% 最大 | √ | |
| CuZr | customized | 99.95% max | √ | |
| NiFe | Ni-20Fe (wt%) ( or customized ) | 99.95% 最大 | √ | |
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