1.靶材安装
靶材安装过程中最重要的考虑是确保靶材与溅射枪冷却壁之间有良好的热连接。靶材在安装时如果翘曲程度的冷却壁服务器或支持板翘曲程度很严重,这将极大地影响靶材和背板之间的热导率,导致散热故障在溅射过程中,并最终将导致靶材裂纹或脱落。为了保证足够的导热性，阴极冷却壁和靶材之间可以放置一层石墨纸。考虑到使用冷却水的清洁度，设备运行过程中可能会产生一些污垢，这些污垢可能会沉积在阴极冷却水箱中。因此，阴极冷却水箱在安装靶时需进行检查和清洗，以保证冷却水的畅通循环和进出口不被堵塞。有些设备采用了阴极与阳极间隙小的设计，所以在安装靶材时要保证阴极与阳极之间不接触，没有导体，否则会发生短路。请按照提供的相关建议尝试安装靶材。
1.1安装金属靶材
拧紧靶材夹具时，先用手拧紧一个卸扣，再用手在斜线上转动另一个卸扣，重复此操作，直到卸扣全部安装好。使用工具拧紧
1.2安装陶瓷靶材
不建议将陶瓷靶体嵌得太紧，拧紧螺钉后，建议将螺钉退回半圆，以避免溅射过程中温度升高后体积膨胀导致靶体破裂。
2.短路和密封性检查
靶材安装好后，需要对整个阴极进行短路检查和密封检查。建议用电阻表晃动手表来判断阴极是否有短路。在确定阴极没有短路后，可以进行漏泄检查，将水送至阴极，以确定是否有漏泄。
3.靶的预溅射
靶的预溅射建议用纯氩溅射，以清洁靶表面。建议在靶材预先溅射时，缓慢地增加溅射功率。推荐陶瓷靶材的功率增长速率为1.5 W/cm2。金属靶的预溅射速度可以比陶瓷靶快，合理的功率增加速率为1.5 Wh/cm2。预溅射时要检查靶体的电弧情况，预溅射时间一般在10分钟左右。如果没有电弧，继续增加溅射功率到设定的功率。根据经验,可以承受的最大溅射功率金属目标是10瓦/厘米2和陶瓷的目标是3 - 4瓦/厘米2(溅射功率(RF)≤100 W)。与此同时,请参阅设置的用户系统操作手册(Pa)在溅射真空室压力。(来自你们设备供应商)根据经验，一般应保证冷却水出口水温低于35摄氏度，但最重要的是保证冷却水循环系统能有效工作。冷却水快速循环散热，保证了高功率，是溅射连续的重要保证。对于金属靶材，一般建议冷却水流量为20 LPM，水压为5 GMP左右。对于陶瓷靶材，一般建议水流量为30 LPM，水压约为9 GMP。
4.靶材及环境维护
为了避免引起短路和灭弧不洁净腔在溅射过程中, 需要分阶段去除溅射轨道中间和两侧沉积的溅射材料，以帮助用户在最大的溅射功率密度下连续执行溅射。黑暗区域的盾牌，腔壁和邻近的表面也需要保持清洁。在清洁真空室时，我们建议用玻璃球喷砂处理脏的部分，同时用压缩空气去除真空室周围的飞溅残渣，然后用渗铝砂纸轻轻打磨表面。纱布抛光后，用酒精、丙酮和去离子水清洗，建议用工业真空吸尘器辅助清洗。
5.连续溅射时间不宜过长(≤40分钟)
