迈德立将溅射靶材塑封真空包装。
但根据靶材的特性,我们将一些溅射靶放入煤油防护装置中
下列九种溅射目标需要用煤油(航空航天级煤油)保护:
锂靶、钙靶、锶靶、钡靶、镧靶、铈靶、镨靶、钕靶和铕靶。
使用煤油(航空航天级)保护靶材的(注意事项。
1. 准备500ml丙酮液,打开靶材包装,用镊子将靶材从塑料袋中取出,放入丙酮液中10秒,重复浸泡3次。
2. 然后进行快速干燥,将靶材放入磁控溅射系统中。
3. 做预溅射去除表面的氧化物,建议20分钟的预溅射时间。
4. 迈德立建议:在溅射处理完成之前,不要将靶材带出溅射室。最好将靶材放入真空保护,以防氧化。如真空保护不能保护,应放回煤油中。